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1、優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

CAE輔助設(shè)計(jì)分析,減少結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的偏差,提高結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,保證精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定

單邊直驅(qū)移動(dòng)橋結(jié)構(gòu),移動(dòng)質(zhì)量更輕,驅(qū)動(dòng)更接近移動(dòng)質(zhì)心,有效提高運(yùn)動(dòng)性能和精度穩(wěn)定性

2、極致的穩(wěn)定性

關(guān)鍵結(jié)構(gòu)部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移動(dòng)橋在質(zhì)量更輕的同時(shí),具備更高剛性與更低溫度線膨脹性能,極大提高了精度與長(zhǎng)期可靠性

高剛性高性能氣浮導(dǎo)向,無(wú)摩擦無(wú)磨損,三軸均采用四面環(huán)抱式設(shè)計(jì),具備氣浮壓力監(jiān)測(cè)功能,有效確保穩(wěn)定性

三軸采用超低線溫度線膨脹系數(shù)光柵尺,對(duì)溫度變化不敏感,有效提高整機(jī)的精度

3、安全性

Z軸采用柔性平衡氣缸,確保Z軸運(yùn)動(dòng)的可靠性

Z軸平衡氣缸具有氣動(dòng)邏輯保護(hù)和硬件抱死保護(hù)兩種保護(hù)機(jī)制,可在緊急情況下確保探測(cè)系統(tǒng)的安全

4、自主研發(fā),具有更好的適配性
革命性的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)搭配TCC自研電控
革命性的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)搭配TCC自研電控
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國(guó)PTB最高等級(jí) Class1 (0.1μm、0.1 角秒) 認(rèn)證
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國(guó)PTB最高等級(jí) Class1 (0.1μm、0.1 角秒) 認(rèn)證
HSP 固定掃描測(cè)頭
HSP 固定掃描測(cè)頭
TR50旋轉(zhuǎn)測(cè)座
TR50旋轉(zhuǎn)測(cè)座
型號(hào)行程范圍(mm)外形尺寸(mm)
XYZLxLyLz
CMU686600800600147919322780
CMU81068001000600167921322830
CMU1012810001200800187923403158
CMU1015810001500800187926323158
CMU1020810002000800187932303158
CMU121510120015001000210426323292
CMU122010120020001000210432303292
CMU152012150020001200263032303950
CMU152512150025001200263040373950
CMU153012150030001200263048443950
長(zhǎng)度測(cè)量最大允許誤差 MPE(E0) (μm)
0.9μm+L/350起

備注:產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)修改因產(chǎn)品更新會(huì)有變動(dòng),具體以技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn)

精度指標(biāo):根據(jù)ISO 10360-2:2009,ISO 10360-5:2010 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的性能評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)

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