產(chǎn)品特點(diǎn)
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優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
CAE輔助設(shè)計(jì)分析,減少結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的偏差,提高結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,保證精度的長期穩(wěn)定
單邊直驅(qū)移動(dòng)橋結(jié)構(gòu),移動(dòng)質(zhì)量更輕,驅(qū)動(dòng)更接近移動(dòng)質(zhì)心,有效提高運(yùn)動(dòng)性能和精度穩(wěn)定性
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極致的穩(wěn)定性
關(guān)鍵結(jié)構(gòu)部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移動(dòng)橋在質(zhì)量更輕的同時(shí),具備更高剛性與更低溫度線膨脹性能,極大
提高了精度與長期可靠性
高剛性高性能氣浮導(dǎo)向,無摩擦無磨損,三軸均采用四面環(huán)抱式設(shè)計(jì),具備氣浮壓力監(jiān)測(cè)功能,有效確保穩(wěn)定性
三軸采用超低線溫度線膨脹系數(shù)光柵尺,對(duì)溫度變化不敏感,有效提高整機(jī)的精度
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安全性
Z軸采用柔性平衡氣缸,確保Z軸運(yùn)動(dòng)的可靠性
Z軸平衡氣缸具有氣動(dòng)邏輯保護(hù)和硬件抱死保護(hù)兩種保護(hù)機(jī)制,可在緊急情況下確保探測(cè)系統(tǒng)的安全
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自主研發(fā),具有更好的適配性
革命性的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)搭配TCC自研電控
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國PTB最高等級(jí) Class1(0.1微米、0.1角秒) 認(rèn)證
HSP固定掃描測(cè)頭
TR50旋轉(zhuǎn)測(cè)座
產(chǎn)品參數(shù)
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CMU686
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CMU8106
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CMU10128
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CMU10158
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CMU10208
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CMU121510
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CMU122010
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CMU152012
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CMU152512
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CMU153012
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行程范圍(mm)
600 x 800 x 600
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外形尺寸(mm)
1479 x 1932 x 2780
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重量(kg)
2400
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行程范圍(mm)
800 x 1000 x 600
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外形尺寸(mm)
1679 x 2132 x 2830
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重量(kg)
2850
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行程范圍(mm)
1000 x 1200 x 800
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外形尺寸(mm)
1879 x 2340 x 3158
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重量(kg)
3250
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行程范圍(mm)
1000 x 1500 x 800
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外形尺寸(mm)
1879 x 2632 x 3158
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重量(kg)
3620
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行程范圍(mm)
1000 x 2000 x 800
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外形尺寸(mm)
1879 x 3230 x 3158
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重量(kg)
4800
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行程范圍(mm)
1200 x 1500 x 1000
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外形尺寸(mm)
2104 x 2632 x 3292
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重量(kg)
7600
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行程范圍(mm)
1200 x 2000 x 1000
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外形尺寸(mm)
2104 x 3230 x 3292
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重量(kg)
9600
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行程范圍(mm)
1500 x 2000 x 1200
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外形尺寸(mm)
2630 x 3230 x 3950
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重量(kg)
10100
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行程范圍(mm)
1500 x 2500 x 1200
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外形尺寸(mm)
2630 x 4037 x 3950
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重量(kg)
12500
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行程范圍(mm)
1500 x 3000 x 1200
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外形尺寸(mm)
2630 x 4844 x 3950
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重量(kg)
14700
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