產(chǎn)品特點(diǎn)
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計(jì)量級(jí)精度
得益于良好的系統(tǒng)設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精度測(cè)量
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優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
測(cè)量機(jī)采用固定橋式的高剛性機(jī)械結(jié)構(gòu),使用花崗巖橫梁、底座和立柱,以及精密SiC陶瓷Z軸的組合,保持機(jī)械結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,抗外界干擾能力強(qiáng)
移動(dòng)工作平臺(tái)采用雙燕尾式氣浮導(dǎo)軌,確保系統(tǒng)測(cè)量和系統(tǒng)承載的同時(shí)提供良好的穩(wěn)定性
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極致的穩(wěn)定性
SiC陶瓷Z軸具有熱膨脹系數(shù)小、剛性強(qiáng)以及質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn),在保證測(cè)量系統(tǒng)穩(wěn)定性的同時(shí),亦提高了運(yùn)動(dòng)特性
各軸采用預(yù)載空氣軸承及環(huán)抱式布局,具有高剛性、無(wú)接觸、低摩擦以及低磨損的特點(diǎn),有效保證機(jī)器的使用壽命,減少測(cè)量不確定性的發(fā)生次數(shù)
采用零膨脹系數(shù)光柵尺,分辨率高達(dá)到納米級(jí)別,且不受外界溫度影響,保證機(jī)器的高精度和穩(wěn)定性
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安全性
Z軸采用柔性平衡氣缸,確保Z軸運(yùn)動(dòng)的可靠性
Z軸平衡氣缸具有氣動(dòng)邏輯保護(hù)和硬件抱死保護(hù)兩種保護(hù)機(jī)制,可在緊急情況下確保探測(cè)系統(tǒng)的安全
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自主研發(fā),具有更好的適配性
革命性的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)搭配TCC自研電控
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國(guó)PTB最高等級(jí) Class1(0.1微米、0.1角秒) 認(rèn)證
HSP固定掃描測(cè)頭
TR50旋轉(zhuǎn)測(cè)座
產(chǎn)品參數(shù)
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CMZ686
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CMZ8106
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CMZ10128
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CMZ10158
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CMZ121510
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CMZ122010
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行程范圍(mm)
600 x 800 x 600
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外形尺寸(mm)
1682 x 2107 x 3260
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重量(kg)
4760
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行程范圍(mm)
800 x 1000 x 600
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外形尺寸(mm)
1882 x 2557 x 3260
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重量(kg)
6207
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行程范圍(mm)
1000 x 1200 x 800
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外形尺寸(mm)
2082 x 3007 x 3660
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重量(kg)
8000
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行程范圍(mm)
1000 x 1500 x 800
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外形尺寸(mm)
2082 x 3582 x 3660
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重量(kg)
9600
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行程范圍(mm)
1200 x 1500 x 1000
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外形尺寸(mm)
2282 x 3582 x 4060
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重量(kg)
10800
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行程范圍(mm)
1200 x 2000 x 1000
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外形尺寸(mm)
2282 x 4632 x 4060
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重量(kg)
13800
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